前处理仪器
高真空离子溅射蒸碳镀膜仪
  • 仪器型号:
    ACE600
  • 生产厂家:
    德国徕卡
  • 安放位置:
    综合科研楼A116
  • 所属平台:
    大型仪器实验室
  • 联 系 人:
    李洁
  • 联系电话:
    010-62849159

仪器性能

镀膜精度:0.1 nm;溅射电流:0 - 150 mA

仪器配置

仪器用途

制备超薄、细颗粒的导电金属膜和碳膜