仪器性能

石英晶体单色器，罗兰圆直径500mm；Al单色器：大束斑0.5eV@600kcps，0.6eV@1.5Mcps；最小束斑（Φ15～Φ30 μm）：0.48eV@1.5kcps、0.6eV@6kcps；Ag单色器XPS指标：大束斑：0.9eV@5kcps；平行成像XPS空间分辨率0.61μm；能量扫描范围：-5～3200eV（XPS）/0～65eV（UPS）；绝缘体分析能力（PET，O-C=O的C 1s峰半高全宽@C-C/C-H的C 1s峰强度）：0.68eV@20kcps、0.77eV@70kcps；电子能谱能量分析器：180°半球扇形分析器，平均半径：165mm；深度剖析离子枪：离子源类型：双模式（单Ar原子和Ar团簇）深度剖析，单Ar原子ISS；可使用气体：Ar（XPS深度剖析）/He（离子散射谱，ISS）；离子能量范围：500～5,000eV（单Ar原子模式），2,000~20,000eV（Ar团簇模式），1,000eV（ISS模式）；紫外光电子能谱：能量分辨和灵敏度：Ag费米边20%～80%≤120meV时Ag 4d计数率≥1Mcps；离子散射谱：能量分辨和灵敏度：使用1keV的He+离子入射到清洁的Au表面上，Au峰的能量分辨优于12eV时其灵敏度优于12kcps/nA。

仪器配置

1、自动单色化Al/Ag双阳极X射线源2、微束VI型多模式Ar团簇离子枪3、紫外光电子能谱4、离子散射谱套件5、分析室加热制冷附件6、惰性气体传输器

仪器用途

主要用于固体材料的表面（1～10nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析；与离子蒸镀或其他分子束外延技术相结合，可以进行原位样品的制备及分析工作。